Wafer-Scale Manufacturing of Photonic Molecule Microcombs
Paper i proceeding, 2024
We demonstrate 98% yield of photonic molecule microcombs manufactured on a 4-inch silicon nitride wafer. Dissipative Kerr soliton microcombs with average power conversion efficiency above 50% (25th percentile of 50.3%) are achieved.
Solitons
Laser applications
Silicon photonics
Power conversion
Multichip modules
Electro-optical waveguides
Fabrication
Silicon nitride
Författare
Marcello Girardi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Carmen Haide López Ortega
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Òskar Bjarki Helgason
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Israel Rebolledo Salgado
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Victor Torres Company
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
2024 Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2024
9781957171395 (ISBN)
2024 Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2024
Charlotte, USA,
Charlotte, USA,
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Atom- och molekylfysik och optik
Annan fysik
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1364/cleo_at.2024.jth2a.84