Method for measuring fracture toughness of wafer-bonded interfaces with high spatial resolution
Paper i proceeding, 2006
Författare
Martin Bring
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Proceedings of Micro Structure Workshop 2006
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik