Electrostatic feedback for MEMS sensor for in situ TEM instrumentation
Paper i proceeding, 2008
Electrostatic force modeling
Force feedback
Force sensor
Författare
Alexandra Nafari
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system
Ning Chang
Johan Angenete
Krister Svensson
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system
Eurosensors 2008
Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik