Electrostatic feedback for MEMS sensor for in situ TEM instrumentation
Paper i proceeding, 2008

A capacitive force sensor for in situ TEM instrumentation is investigated. In order to prevent movement of the suspended plate in the capacitive sensor force feedback has been investigated, primarily using CV measurements. A manual feedback has successfully been implemented and an analytical model using a serial and a parallel capacitor is presented.

Electrostatic force modeling

Force feedback

Force sensor

Författare

Alexandra Nafari

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

Ning Chang

Krister Svensson

Peter Enoksson

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

Eurosensors 2008

Ämneskategorier

Den kondenserade materiens fysik

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE