Compatibility Assessment of CVD growth of Carbon nanofibers on bulkCMOS devices
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2008

Författare

Farzan Alavian Ghavanini

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Helen lepoche

Mohammad Kabir

Per Lundgren

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet