Wafer bonding: A retrospective
Paper i proceeding, 2010
Författare
Stefan Bengtsson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
ECS Transactions
19386737 (ISSN) 19385862 (eISSN)
Vol. 33 4 429-439978-156677823-7 (ISBN)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
DOI
10.1149/1.3483533
ISBN
978-156677823-7