Low temperature full wafer adhesive bonding of structured wafers
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001
Författare
Frank Niklaus
Helene Andersson
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Sensors and Actuators A
Vol. 92 235-241
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Materialteknik
Annan teknik
Övrig annan teknik
Elektroteknik och elektronik