Low temperature full wafer adhesive bonding of structured wafers
Paper i proceeding, 2000
Författare
Frank Niklaus
Helene Andersson
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
EUROSENSORS XIV, Copenhagen, Denmark, Aug. 27-30
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Materialteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik