Miniaturized pressure sensor using a free hanging strain-gauge with leverage effect for increased sensitivity
Paper i proceeding, 2001
Författare
P. Melvås
Edvard Kälvesten
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'01 / Eurosensors XV), Munich, Germany
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Industriell bioteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)