Analysis of CV characterisitcs of plasma bonded wafers
Paper i proceeding, 2002
Författare
Cindy Colinge
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik
Petra Amirfeiz
Institutionen för mikroelektronik
Anke Sanz-Velasco
Presented at TMS, Electronics Materials Conference, Santa Barbara, USA
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik