The Effects Of Hf Cleaning Prior To Silicon-Wafer Bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995
Författare
Karin Ljungberg
Ylva Backlund
Anders Soderbarg
Mats Bergh
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Mats O. Andersson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Journal Of The Electrochemical Society
Vol. 142 4 1297-1303
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik