High-confinement high-Q silicon-rich silicon nitride nonlinear microresonators
Paper i proceeding, 2018
We show our results on high-Q high-confinement microresonators based on the silicon-rich silicon nitride (SiRN) platform, featuring broad anomalous dispersion and an enhanced nonlinear Kerr coefficient with respect to stoichiometric Si3N4 technology.
Författare
Victor Torres Company
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Zhichao Ye
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Attila Fülöp
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Clemens Krückel
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Peter Andrekson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Optics InfoBase Conference Papers
21622701 (eISSN)
Vol. Part F101-IPRSN 2018 2018978-155752820-9 (ISBN)
Integrated Photonics Research, Silicon and Nanophotonics, IPRSN 2018
Zurich, Switzerland,
Zurich, Switzerland,
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier
Energiteknik
Keramteknik
Annan fysik
Fundament
Grundläggande vetenskaper
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
DOI
10.1364/IPRSN.2018.ITh2J.2