Properties of ultra-thin NbN films for membrane-type THz HEB
Paper i proceeding, 2007

Various buffer layers have been investigated in order to improve the crystalline quality of NbN ultra-thin films. The structural properties, the thickness, the surface morphology of 5-10 nm NbN films have been studied by different techniques. Uncertainty on thickness measurements in this range and the relation between NbN film quality and gain bandwidth are discussed in the framework of their use in Hot Electron Bolometers (HEB).

mixer devices

NbN ultra-thin films

Författare

B. Guillet

ENSICAEN Ecole Nationale Superieure d'Ingenieurs de Caen

LERMA - Laboratoire d'Etudes du Rayonnement et de la Matiere en Astrophysique et Atmospheres

O. Arthursson

Chalmers University of Technology

L. Mechin

ENSICAEN Ecole Nationale Superieure d'Ingenieurs de Caen

M. N. Metzner

ENSICAEN Ecole Nationale Superieure d'Ingenieurs de Caen

M. P. Chauvat

ENSICAEN Ecole Nationale Superieure d'Ingenieurs de Caen

P. Ruterana

ENSICAEN Ecole Nationale Superieure d'Ingenieurs de Caen

Vladimir Drakinskiy

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Serguei Cherednichenko

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

R. Lefevre

LERMA - Laboratoire d'Etudes du Rayonnement et de la Matiere en Astrophysique et Atmospheres

Y. Delorme

LERMA - Laboratoire d'Etudes du Rayonnement et de la Matiere en Astrophysique et Atmospheres

J. M. Krieg

LERMA - Laboratoire d'Etudes du Rayonnement et de la Matiere en Astrophysique et Atmospheres

Journal of Low Temperature Physics

0022-2291 (ISSN) 1573-7357 (eISSN)

Vol. 151 570-574

Ämneskategorier

Fysik

DOI

10.1007/s10909-007-9694-1