Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Mesa Structures for Microphotoluminescence
Paper i proceeding, 2003

Författare

Toshio Kawahara

Fredrik Fälth

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Xinju Liu

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Thorvald Andersson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Vincent Desmaris

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Proceedings of the 2nd IMP3 conference

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik