The microstructure of CVD κ-Al2O3 multilayers separated by thin intermediate TiN or TiC layers
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2006
Författare
Mats Halvarsson
Chalmers, Teknisk fysik, Mikroskopi och mikroanalys
Jessika Trancik
Sakari Ruppi
International Journal of Refractory Metals & Hard Materials
Vol. 24 32-38
Ämneskategorier
Materialteknik