The microstructure of CVD κ-Al2O3 multilayers separated by thin intermediate TiN or TiC layers
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2006

Författare

Mats Halvarsson

Chalmers, Teknisk fysik, Mikroskopi och mikroanalys

Jessika Trancik

Sakari Ruppi

International Journal of Refractory Metals & Hard Materials

Vol. 24 32-38

Ämneskategorier

Materialteknik