Processing of RF-MEMS Switches
Paper i proceeding, 2004
Författare
Ros-Marie Lundh
Yangjian Chen
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Shimul Chandra Saha
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Erik Kollberg
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Piotr Starski
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Niklas Rorsman
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Anders Derneryd
MEMSWAVE, June 30-July 2, 2004, Uppsala, Sweden
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik