Processing of RF-MEMS Switches
Paper i proceeding, 2004

Författare

Ros-Marie Lundh

Yangjian Chen

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Shimul Chandra Saha

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Erik Kollberg

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Piotr Starski

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Niklas Rorsman

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Anders Derneryd

MEMSWAVE, June 30-July 2, 2004, Uppsala, Sweden

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07