Interface study of AlN grown on Si substrates by radio frequency magnetron reactive sputtering
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2005

Författare

Thorvald Andersson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågselektronik

Thin Solid Films

Vol. 471 336-

Ämneskategorier

Övrig annan teknik