Wafer bonding for MEMS
Paper i proceeding, 2005
Författare
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Cristina Rusu
Anke Sanz-Velasco
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Martin Bring
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Alexandra Nafari
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Stefan Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Proceeding of the 9th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applic, Canadaations, Quebec City
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik