Wafer bonding for MEMS
Paper i proceeding, 2005

Författare

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Cristina Rusu

Anke Sanz-Velasco

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Martin Bring

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Alexandra Nafari

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Stefan Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Proceeding of the 9th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applic, Canadaations, Quebec City

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07