Plasma assisted low temperature wafer bonding: void formation in the oxide free interface
Paper i proceeding, 2003
Författare
Petra Amirfeiz
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Anke Sanz-Velasco
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Proceedings of the 7th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology and Applications, Paris, France (2003)
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik