Applications of plasma assisted wafer bonding
Paper i proceeding, 2002

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Anke Sanz-Velasco

Institutionen för mikroelektronik

Forskning Andra publikationer

Martin Bring

Institutionen för mikroelektronik

Forskning Andra publikationer

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Forskning Andra publikationer

Proceedings of the Workshop on wafer bonding, Barcelona, Spain

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Chalmers examensarbeten

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE