Applications of plasma assisted wafer bonding
Paper i proceeding, 2002

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Anke Sanz-Velasco

Institutionen för mikroelektronik

Martin Bring

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Proceedings of the Workshop on wafer bonding, Barcelona, Spain

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik