Analysis of CV characterisitcs of plasma bonded wafers
Paper i proceeding, 2002

Författare

Cindy Colinge

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Anke Sanz-Velasco

Presented at TMS, Electronics Materials Conference, Santa Barbara, USA

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik