Preparation and electrical characterization of silicon structures formed by wafer bonding
Doktorsavhandling, 1991

Si-Si interfaces

hydrophobic surface

electro-optical studies

deep electron traps

Författare

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

ISBN

91-7032-655-x

Technical report - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology, Göteborg, Sweden: 223

Doktorsavhandlingar vid Chalmers tekniska högskola. Ny serie: 832