Wafer Bonding Induced Degradation Of Thermal Silicon Dioxide Layers On Silicon
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995
Författare
V. V. Afanasev
Per Ericsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Mats O. Andersson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Applied Physics Letters
Vol. 66 13 1653-1655
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik