Formation of silicon structures by plasma-activated wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik

Mats Bergh

Ezio Zanghellini

Chalmers, Institutionen för experimentell fysik

Lars Börjesson

Chalmers, Teknisk fysik

Journal Of The Electrochemical Society

Vol. 147 7 2693-2698

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-06