The influence of wafer dimensions on the contact wave velocity in silicon wafer bonding

Stefan Bengtsson; Karin Ljungberg; Jan Vedde

The influence of wafer dimensions on the contact wave velocity in silicon wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996

Författare

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Forskning Andra publikationer

Karin Ljungberg

Jan Vedde

Applied Physics Letters

Vol. 69 22 3381-3383

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-08

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Meddelande

Din e-postadress

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Chalmers bibliotek

Chalmers forskning

Chalmers examensarbeten

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE

The influence of wafer dimensions on the contact wave velocity in silicon wafer bonding Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996