Internal oxidation of low dose separation by implanted oxygen wafers in different oxygen/nitrogen mixtures
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997
Författare
Per Ericsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Publicerad i
Applied Physics Letters
Vol. 71 Nummer/häfte 16 s. 2310-2312
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik