Internal oxidation of low dose separation by implanted oxygen wafers in different oxygen/nitrogen mixtures
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1997

Författare

Per Ericsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Applied Physics Letters

Vol. 71 16 2310-2312

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik