Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials

Per Ericsson; Stefan Bengtsson; Ulf Södervall

Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995

Författare

Per Ericsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Forskning Andra publikationer

Ulf Södervall

Institutionen för fysik

Forskning Andra publikationer

Journal Of Applied Physics

Vol. 78 5 3472-3480

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-08

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Meddelande

Din e-postadress

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Chalmers bibliotek

Chalmers forskning

Chalmers examensarbeten

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE

Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995