Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995

Författare

Per Ericsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Ulf Södervall

Institutionen för fysik

Journal Of Applied Physics

Vol. 78 3472-3480

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik