The Effects Of Hf Cleaning Prior To Silicon-Wafer Bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995

Författare

Karin Ljungberg

Ylva Backlund

Anders Soderbarg

Mats Bergh

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Mats O. Andersson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Journal Of The Electrochemical Society

Vol. 142 1297-1303

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik