The Effects Of Hf Cleaning Prior To Silicon-Wafer Bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995

Författare

Karin Ljungberg

Ylva Backlund

Anders Soderbarg

Mats Bergh

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Mats O. Andersson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Publicerad i

Journal Of The Electrochemical Society

Vol. 142 Nummer/häfte 4 s. 1297-1303

Kategorisering

Ämneskategorier (SSIF 2011)

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07