Plasma assisted room temperature bonding for MST
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001

Författare

Anke Weinert

Institutionen för mikroelektronik

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Sensors And Actuators A-Physical

Vol. 92 214-222

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

DOI

10.1016/S0924-4247(01)00579-9