Formation of silicon structures by plasma activated wafer bonding
Paper i proceeding, 2001

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Mats Bergh

Institutionen för mikroelektronik

Ezio Zanghellini

Institutionen för fysik

Lars Börjesson

Chalmers, Teknisk fysik

Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedings

Vol. 99 29-39

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik