Formation of silicon structures by plasma activated wafer bonding
Paper i proceeding, 2001

Författare

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Forskning Andra publikationer

Mats Bergh

Institutionen för mikroelektronik

Ezio Zanghellini

Institutionen för fysik

Forskning Andra publikationer

Lars Börjesson

Chalmers, Teknisk fysik

Forskning Andra publikationer

Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedings

Vol. 99 29-39

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Chalmers examensarbeten

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE