Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding
Paper i proceeding, 2001

Författare

Mikael Johansson

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Semiconductor Wafer Bonding: Science, Technology, And Applications V, Proceedings

Vol. 99 420-428

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik