Fabrication of large dimension aluminum air-bridges for superconducting quantum circuits
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2013
Författare
Mohammad Abuwasib
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik
Philip Krantz
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik
Per Delsing
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics
21662746 (ISSN) 21662754 (eISSN)
Vol. 31 3 031601- 031601Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier
Nanoteknik
Den kondenserade materiens fysik
DOI
10.1116/1.4798399