Microroughness characterisation using 2D fourier transform of AFM images
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1994
Författare
Mats Bergh
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Mats O. Andersson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Proc. 25th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference. IEEE.
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik