Formation of directly bonded Si/Si interfaces in ultra-high vacuum
Paper i proceeding, 1997
Författare
Karin Ljungberg
Francois Grey
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Proc 2nd International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces. North-Holland.
813-
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik