A Si/SiO2/Si heterostructure barrier varactor diode made by wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001
Författare
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik
Proc. 6th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding. The Electrochemical Society.
Vol. 2001 27 205-
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik