research
.chalmers.se
In English
Logga in
Wafer bonding using oxygen plasma treatment in RIE and ICP RIE
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2001
Författare
Anke Sanz-Velasco
Institutionen för mikroelektronik
Andra publikationer
Forskning
Petra Amirfeiz
Institutionen för mikroelektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik
Andra publikationer
Forskning
Proc. 6th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding. The Electrochemical Society.
Vol. 2001 31-40
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik