Cr evaporation of metallic interconnects: A novel method for quantification
Paper i proceeding, 2009
Författare
Jan Froitzheim
Chalmers, Kemi- och bioteknik, Oorganisk miljökemi
Erik Larsson
Oorganisk miljökemi 1
Lars-Gunnar Johansson
Chalmers, Kemi- och bioteknik, Oorganisk miljökemi
Jan-Erik Svensson
Chalmers, Kemi- och bioteknik, Oorganisk miljökemi
ECS Transactions
19385862 (ISSN) 19386737 (eISSN)
Vol. 25 2 PART 2 1423-1428978-156677739-1 (ISBN)
Ämneskategorier
Oorganisk kemi
DOI
10.1149/1.3205674
ISBN
978-156677739-1