Influence of Al/N flux ratio during nucleation layer growth on the structural properties of AlN grown on sapphire by molecular beam epitaxy
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2005
Författare
Fredrik Fälth
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Stefan Davidsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Xinju Liu
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Thorvald Andersson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
applied physics letters
Vol. 87 161901-
Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik