Broadband microprobe characterization of the ferroelectric films and varactors
Paper i proceeding, 2006
A simple method for the assessment of layout parasitics in the on-wafer microprobe characterization of the ferroelectric films and varactors is presented. The proposed method considers also the effect of the negative inductance associated with calibration procedure.
Författare
Andrei Vorobiev
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi
Dan Kuylenstierna
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi
Pär Rundqvist
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi
Spartak Gevorgian
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågs- och terahertzteknologi
36th European Microwave Conference, EuMC 2006; Manchester; United Kingdom; 10 September 2006 through 12 September 2006
843-846
2960055160 (ISBN)
Ämneskategorier
Annan materialteknik
DOI
10.1109/EUMC.2006.281051
ISBN
2960055160