Broadband microprobe characterization of the ferroelectric films and varactors
Paper i proceeding, 2006

A simple method for the assessment of layout parasitics in the on-wafer microprobe characterization of the ferroelectric films and varactors is presented. The proposed method considers also the effect of the negative inductance associated with calibration procedure.

Författare

Andrei Vorobiev

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågs- och terahertzteknologi

Dan Kuylenstierna

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågs- och terahertzteknologi

Pär Rundqvist

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågs- och terahertzteknologi

Spartak Gevorgian

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Mikrovågs- och terahertzteknologi

36th European Microwave Conference, EuMC 2006; Manchester; United Kingdom; 10 September 2006 through 12 September 2006

843-846

Ämneskategorier

Annan materialteknik

DOI

10.1109/EUMC.2006.281051

ISBN

2960055160

Mer information

Skapat

2017-10-07