Precise setting of micro-cavity resonance wavelength by dry etching
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2019

With an intracavity phase tuning technique, the authors demonstrate <2 nm precision in wavelength setting of vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) microresonators in the wavelength range 1040-1070 nm using an Ar ion-beam etching process with subnanometer precision in etch depth. This postgrowth fabrication technique for controlling the wavelength of individual VCSELs is promising for the development of monolithic multiwavelength VCSEL arrays with precisely defined wavelengths for wavelength division multiplexed (WDM) optical interconnects and the assembly of compact and high-capacity WDM transmitters.

Författare

Mehdi Jahed

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Anders Larsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fotonik

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics

21662746 (ISSN) 21662754 (eISSN)

Vol. 37 3 031217

Optiska datakablar med multi-Tbit/s kapacitet

Stiftelsen för Strategisk forskning (SSF), 2014-03-01 -- 2019-06-30.

Integrerade optiska sändare för våglängdsmultiplexering i datacenternätverk

Vetenskapsrådet (VR), 2017-01-01 -- 2022-12-31.

Ämneskategorier

Acceleratorfysik och instrumentering

Atom- och molekylfysik och optik

Materialkemi

DOI

10.1116/1.5092192

Mer information

Senast uppdaterat

2019-06-11