Comparison of high-resistivity silicon surface passivation methods
Paper i proceeding, 2007
Författare
Martin Norling
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
Dan Kuylenstierna
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
Andrei Vorobiev
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
Klaus Reimann
Dimitri Lederer
Jean-Pierre Raskin
Spartak Gevorgian
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
Publicerad i
EuMIC 2007 Proceedings
s. 215-218
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik