Comparison of high-resistivity silicon surface passivation methods
Paper i proceeding, 2007

Författare

Martin Norling

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

Dan Kuylenstierna

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

Andrei Vorobiev

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

Klaus Reimann

Dimitri Lederer

Jean-Pierre Raskin

Spartak Gevorgian

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

EuMIC 2007 Proceedings

215-218

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik