Planar double gate SOI MOS devices; Fabrication by wafer bonding over pre patterned cavities and electrical characterisation
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2007

Författare

Ulf Södervall

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Solid State electronics

Vol. 51(2) 231-238

Ämneskategorier

Fysik