Novel high-k/metal gate materials
Paper i proceeding, 2007
Författare
Olof Engström
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
P.K. Hurley
O Buiu
M.C. Lemme
SiNANO Worksshop at ESSDERC 07, Munich
Ämneskategorier
Annan teknik