Hot Embossed Microoptics in Silicon Micromachining using a Substrate Bonder
Paper i proceeding, 2008

Författare

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Caglar Ataman

Sven Holmström

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Hakan Urey

Proceedings of 19th MicroMechanics Europe Workshop, MME 2008

137-140

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Annan elektroteknik och elektronik

ISBN

978-3-00-025529-8