Hot Embossed Microoptics in Silicon Micromachining using a Substrate Bonder
Paper i proceeding, 2008

Författare

Karin Hedsten

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial

Caglar Ataman

Sven Holmström

Peter Enoksson

Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial

Hakan Urey

Proceedings of 19th MicroMechanics Europe Workshop, MME 2008

137-140
978-3-00-025529-8 (ISBN)

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Annan elektroteknik och elektronik

ISBN

978-3-00-025529-8

Mer information

Skapat

2017-10-06