MEMS Sensor for In Situ TEM Atomic Force Microscopy
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2008
nano wire characterization
AFM
force measurements
Transmission electron microscope (TEM)
MEMS
Författare
Alexandra Nafari
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
David Karlén
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Cristina Rusu
Imego AB - The Institute of Micro and Nanotechnology
Krister Svensson
Karlstads universitet
Håkan Olin
Mittuniversitetet
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Journal of Microelectromechanical Systems
1057-7157 (ISSN)
Vol. 17 2 328 - 333Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik
DOI
10.1109/JMEMS.2007.912714