MEMS sensor for in situ TEM Atomic Force Microscopy
Paper i proceeding, 2007
Atomic Force Microscopy (AFM)
MEMS
in situ
Transmission Electron Microscope (TEM)
Författare
Alexandra Nafari
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
David Karlén
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Cristina Rusu
Krister Svensson
Håkan Olin
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
IEEE 20th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2007. MEMS
1084-6999 (ISSN)
103-106Ämneskategorier
Den kondenserade materiens fysik