Quest for an optimal gadolinium silicate gate dielectric stack
Paper i proceeding, 2008

Författare

I. Z. Mitrovic

Maria Werner

W.M. Davey

S. Hall

P.R. Chalker

H.D.B. Gottlob

M.C. Lemme

Olof Engström

Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik

K. Cherkaoui

P.K. Hurley

39th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC 2009), December 11-13, 2008,

Ämneskategorier

Annan teknik

Övrig annan teknik