Quest for an optimal gadolinium silicate gate dielectric stack
Paper i proceeding, 2008
Författare
I. Z. Mitrovic
Maria Werner
W.M. Davey
S. Hall
P.R. Chalker
H.D.B. Gottlob
M.C. Lemme
Olof Engström
Chalmers, Teknisk fysik, Fysikalisk elektronik
K. Cherkaoui
P.K. Hurley
39th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC 2009), December 11-13, 2008,
Ämneskategorier
Annan teknik
Övrig annan teknik