Influence Of Prebonding Cleaning On The Electrical-Properties Of The Buried Oxide Of Bond-And-Etchback Silicon-On-Insulator Materials
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1995
Författare
Per Ericsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Ulf Södervall
Institutionen för fysik
Journal Of Applied Physics
Vol. 78 5 3472-3480
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik