Refractive Lenses in Silicon Micromachining by Reflow of Amorphous Fluorocarbon Polymer
Paper i proceeding, 2005

Författare

Karin Hedsten

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

David Karlén

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Presented at Micromechanics Europe (MME05) (Göteborg, Sweden, Sept. 4-6, 2005)

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07