Simple self-aligned fabrication process for silicon carbide static induction transistors
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2004
Författare
Kristina Dynefors
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Vincent Desmaris
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Joakim Eriksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Niklas Rorsman
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Herbert Zirath
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik
Materials Science Forum
Vol. 457-460 1125-
Ämneskategorier
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik
Annan elektroteknik och elektronik