Planar double-gate SOI MOS devices: Fabrication by wafer bonding over pre-patterned cavities and electrical characterization
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2007
Författare
T.M Chung
B Olbrechts
Ulf Södervall
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Stefan Bengtsson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
D Flandre
J. P. Raskin
Solid State Electronics
Vol. 51 2 231-238
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik