Planar double-gate SOI MOS devices: Fabrication by wafer bonding over pre-patterned cavities and electrical characterization
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2007

Författare

T.M Chung

B Olbrechts

Ulf Södervall

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Stefan Bengtsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

D Flandre

J. P. Raskin

Solid State Electronics

Vol. 51 231-238

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik